178275.fb2 Большая Советская Энциклопедия (ИО) - читать онлайн бесплатно полную версию книги . Страница 105

Большая Советская Энциклопедия (ИО) - читать онлайн бесплатно полную версию книги . Страница 105

Ионно-сорбционный насос

Ио'нно-сорбцио'нный насо'с, вакуумный насос, в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами, а инертные газы — в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10-7н/м2 (10-9мм рт. ст.).